Lieferung einer Plasma-gestützten Atomlagenabscheidungsanlage in Jena
Zusammenfassung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt die Lieferung einer Plasma-gestützten Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) für die Dünnschichtabscheidung aus. Die Anlage soll auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden und reproduzierbare Abscheideprozesse ermöglichen. Der geschätzte Gesamtauftragswert beträgt 461.344,00 EUR.
CPV-Codes
Quelle
www.dtvp.deMehr Details mit Leto freischalten
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