Auftrag für PVD Clustertool (IZM-23.1) vergeben
Zusammenfassung
Auftrag für ein PVD Clustertool (IZM-23.1) wurde an Evatec Europe GmbH vergeben. Der Auftrag umfasst die Lieferung eines PVD-Systems, das Metallabscheidungsanwendungen für Cu- bzw. Au-Barriere-/Seed-Schichten unterstützt.
CPV-Codes
Quelle
vergabe.fraunhofer.deMehr Details mit Leto freischalten
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