Abgelaufen Offenes Verfahren

Auftrag für PVD Clustertool (IZM-23.1) vergeben

Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft
Abgabefrist
14.07.2025
Ausführungsort
Berlin, Berlin
Veröffentlicht
12.06.2025

Zusammenfassung

Auftrag für ein PVD Clustertool (IZM-23.1) wurde an Evatec Europe GmbH vergeben. Der Auftrag umfasst die Lieferung eines PVD-Systems, das Metallabscheidungsanwendungen für Cu- bzw. Au-Barriere-/Seed-Schichten unterstützt.

CPV-Codes

31712100-1 — Mikroelektronische Maschinen und Geräte

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