Abgelaufen Verhandlungsverfahren

Auftrag vergeben: Inline AFM System für Wafer-Metrologie, Dresden

Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft
Abgabefrist
12.06.2025
Ausführungsort
Dresden, Sachsen
Veröffentlicht
12.05.2025

Zusammenfassung

Auftrag zur Lieferung eines Inline AFM (Atomic Force Microscope) Systems für die Wafer-Metrologie bis 300 mm in Dresden vergeben. Das System soll in der Halbleiterproduktionslinie zur Charakterisierung von Wafern eingesetzt werden und vollautomatisch arbeiten.

CPV-Codes

42990000-2 — Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

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