Etch Cluster (ISIT05.1) - Lieferung nach Itzehoe
Zusammenfassung
Auftrag zur Lieferung eines Trockenätzers (Etch Cluster) für Fraunhofer ISIT in Itzehoe. Ziel ist die Verbesserung der Fertigungsqualität von MEMS-Bauteilen, Erhöhung der Zuverlässigkeit der Fertigungsprozesse und Erweiterung des Produktportfolios.
CPV-Codes
Quelle
vergabe.fraunhofer.deMehr Details mit Leto freischalten
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