Auftragsvergabe für DRIE Ätzcluster mit Mainframe und 3 Kammern in Dresden
Zusammenfassung
Dieser Auftrag wurde für einen DRIE Ätzcluster vergeben, bestehend aus einem Mainframe und drei Kammern für verschiedene Ätzprozesse. Die Vergabe erfolgte an einen nicht genannten Anbieter für die Lieferung und Installation in Dresden.
CPV-Codes
Quelle
vergabe.fraunhofer.deMehr Details mit Leto freischalten
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