Oberflächeninspektionssystem zur Defekterkennung auf Wafern in Berlin
Zusammenfassung
Vergabe eines Auftrags für ein Oberflächeninspektionssystem zur Defekterkennung auf Wafern für die Fraunhofer-Gesellschaft in Berlin. Das System soll Defekte auf epitaktischen Wafern erkennen und klassifizieren. Die Wafer basieren auf InP- und GaAs-Substraten.
CPV-Codes
Quelle
vergabe.fraunhofer.deMehr Details mit Leto freischalten
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