PVD Metallsystem für QMI-Verbindung in Dresden
Zusammenfassung
Auftrag für ein PVD-Metallsystem zur QMI-Verbindung (IPMS-MRS12.1) wurde vergeben. Das System ist für zwei Prozesslinienanwendungen erforderlich, darunter die Abscheidung einer Metallfüllung in TSV für die fortschrittliche Integration von MEMS-Chiplets und die Metallsystem- oder Frontside-TSV-Füllungsabscheidung für QMI-Metallisierungsysteme. Die Lieferung ist für September 2027 in Dresden geplant.
CPV-Codes
Quelle
vergabe.fraunhofer.deMehr Details mit Leto freischalten
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