Lieferung Sekundärionen-Massenspektrometer (SIMS) in Freiburg
Zusammenfassung
Beschaffung eines hochsensitiven Sekundärionen-Massenspektrometers (SIMS) für die tiefenprofilierte chemische Analyse von Halbleitermaterialien und -strukturen. Das System soll präzise Dotierstoff- und Verunreinigungsprofilierung sowie die genaue Bestimmung von Schichtdicken und Homogenität ermöglichen. Der Fokus liegt auf der Charakterisierung von III-V- und diamantbasierten Bauelementstrukturen und Epitaxieschichten, einschließlich 150-mm-Substraten, zur Unterstützung der Prozessentwicklung, Qualitätskontrolle und Optimierung am Fraunhofer IAF.
CPV-Codes
Quelle
vergabe.fraunhofer.deMehr Details mit Leto freischalten
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