Aktiv Offenes Verfahren

Lieferung Sekundärionen-Massenspektrometer (SIMS) in Freiburg

Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft
Abgabefrist
23.09.2026
Ausführungsort
Freiburg im Breisgau, Baden-Württemberg
Veröffentlicht
21.08.2026

Zusammenfassung

Beschaffung eines hochsensitiven Sekundärionen-Massenspektrometers (SIMS) für die tiefenprofilierte chemische Analyse von Halbleitermaterialien und -strukturen. Das System soll präzise Dotierstoff- und Verunreinigungsprofilierung sowie die genaue Bestimmung von Schichtdicken und Homogenität ermöglichen. Der Fokus liegt auf der Charakterisierung von III-V- und diamantbasierten Bauelementstrukturen und Epitaxieschichten, einschließlich 150-mm-Substraten, zur Unterstützung der Prozessentwicklung, Qualitätskontrolle und Optimierung am Fraunhofer IAF.

CPV-Codes

42990000-2 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

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