Abgelaufen Verhandlungsverfahren

Upgrade 200 mm WxZ Wolfram CVD Kammer auf WxZ Sprint Konfiguration

Auftraggeber
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Abgabefrist
07.07.2026
Ausführungsort
Frankfurt (Oder), Brandenburg
Veröffentlicht
04.06.2026

Zusammenfassung

Beschaffung eines Upgrades für ein bestehendes 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-System des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Dies beinhaltet Anpassungen am Gasverteilungssystem und die Integration zusätzlicher Hardware für Depositionsdrücke bis 300 Torr in Frankfurt (Oder).

CPV-Codes

42990000-2 — Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 31712100-1 — Mikroelektronische Maschinen und Geräte

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