Vergabe: Ionenstrahl-Trenching, Ga-FIB Probenpräparation, SEM Inspektion, Halle
Zusammenfassung
Auftragsvergabe für ein präzises Ionenstrahl-Trenching-Tool, Ga-FIB Probenpräparation und hochauflösende analytische SEM-Inspektion in Halle. Die Aufträge wurden an TESCAN GmbH und Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH vergeben. Die Ausführung erfolgt zwischen Februar und Juni 2026.
CPV-Codes
Quelle
vergabe.fraunhofer.deMehr Details mit Leto freischalten
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